Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)介紹

它是一個使用白光干涉技術的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內(nèi)的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡的左輪鏡頭、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

• 低價！
  在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價

• 納米級高分辨率
  采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率

• 全標準設備
  XY自動載物臺，手動左輪，自動光強調(diào)節(jié)，自動對焦功能

• 緊湊的外殼
  主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設計。

• 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設備即可
  測量臺階測量和粗糙度測量

• 操作
  簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作

• 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
  國際標準 ISO25178

• 可擴展性
  多種物鏡選擇，數(shù)據(jù)拼接功能

主要應用

測量規(guī)格

設備規(guī)格

物鏡規(guī)格