腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

產(chǎn)品型號： PC-601系列

所屬分類：壓力傳感器

產(chǎn)品時間：2024-09-10

簡要描述：日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。

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日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

• 高耐腐蝕性
  對應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
• 高精度、高可靠性
  直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
• 測定范圍寬
  表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），絕對壓的壓力范圍為0～2,586torr。
• 使用壽命長
  各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規(guī)格

※所有的表壓類型可以連成。